每种薄膜材料都有自己独特的光学透射率或反射率。通过监测荔口反射率，可以有效判断薄膜的质量。TFT在制造工程中，应进行检测ITO膜渗透率和金属膜反射率，监测溅射膜的质量，并进行膜管理。如果成膜后腹质异常，其渗透率或反射率会发生变化的成膜质量可以通过这种变化初步判断。对于金属膜，主要用于浏览铝膜或铝铌膜的反射率，通过铝膜或铝铌膜的反射率进行膜管理。
图1示是ITO膜禾玻璃的光学透射率的比较。图中虚曲线所示是玻璃的光学透射率，实曲线所示是ITO膜的光学透射率。
这两条曲线在可见光谱区域非常相似。玻璃是绝缘体，可以理解在可见光范围内有良好的通过率。ITO膜是一种液晶像素电极，不仅要求其高导电性，而且要求其在光谱可见区具有类似玻璃的均匀高透射性，这是相当困难的。这是一对矛盾，良好的导电性是金属性强，但可见光区域金属性强的透射很高。这需要在透光率和导电性之间找到平衡ITO化学组织口膜厚度偏差最敏感的监测方法是ITO测量膜的透射光谱。
图1 ITO膜和玻璃光学透射率的比较
图2 所示是铝铌和钼钕的光学反射取现、铬的反射率分布曲线。
图2 铝铌、钼钕和铬反射率
